Оглавление:
Турбомолекулярный вакуумнасос — единственный среди множества вакуумных насосов, применяемый с целью формирования и поддерживания высочайшего вакуума. Принцип турбомолекулярного насоса базируется на передаче молекулам откачиваемого газа добавочной скорости в направленности откачки особым крутящимся ротором. Устройство ротора представлено концепцией дисков. Вакуум, формируемый турбомолекулярным насосом, как правило вплоть до 10-7 Па (10-10 мм рт. ст.). Быстрота вращения ротора — 10-ки тыс. оборотов в одну минуту. Для деятельности турбомолекулярный вакуумнасос требует применения форвакуумного насоса. Турбомолекулярные насосы дают возможность достигать состояния среднего, высокого и сверхвысокого вакуума с остаточными газами, молекулярная масса которых меньше 44.
Турбомолекулярный вакуумнасос является по сущности многоступенчатым осевым компрессором, роторные и статорные ступени коего оборудованы тонкими лопатками, нагнутыми вдоль радиуса. В период вращения роторных ступенек с высочайшей скоростью совершается откачивание молекул газа вследствие разной вероятности перехода через косые каналы ступенек в прямом и противоположном направленностях.
Турбомолекулярный вакуумнасос рассчитанный на службу в обстоятельствах молекулярного порядка движения газа. С целью обеспеченья трудоспособности турбомолекулярного насоса следует обеспечивать на выходе с его заключительной ступени молекулярную систему движения газа любым видом насоса с целью свершения заблаговременного разрежения (равно как норма это достигается форвакуумным насосом) с дальнейшим выхлопом в атмосферу.
Молекулярный вакуумнасос заключается с специализированных молекулярных ступенек, определенных на 1 роторе. С целью его деятельности, кроме того может быть использование форвакуумного насоса (в зависимости от систем ступенек молекулярного насоса). Гибридный турбомолекулярный вакуумнасос собран с 2-ух элементов: первоначальные этапы берутся от турбомолекулярного насоса, а последние ступени с молекулярного насоса.
Роторные ступени смешанного турбомолекулярного насоса зафиксированы на совместном едином валу. Основное направление и задача применения молекулярных ступенек — предоставление стандартного порядка деятельности завершающим ступенькам агрегата при увеличении давления на входе в него, а кроме того вероятность использования наиболее дешёвых одностадийных форвакуумных насосов с мощным максимальным давлением.
Турбомолекулярные насосы Edwards
Насосы данного вида обустроены режимами стабилизации расположения и контролирования скорости вращения ротора, а кроме того измерителем температуры. В дополнение допускается эксплуатировать систему термо-стабилизации с целью усовершенствования откачных характеристик насосов. Значимым плюсом турбомолекулярных насосов представляется абсолютное отсутствие механического контакта меж подвижными элементами приспособления, что гарантирует необыкновенную безопасность подшипниковых участков и фактическое отсутствие пульсаций корпуса. Новинкой этого года представляется производительный турбомолекулярный вакуумнасос STP-iХА4506С, сменивший отлично себя зарекомендовавшую модель STP iXR4506C. Новый вакуумнасос гарантирует темп откачки 4500 л/с (согласно азоту). Улучшенная структура ротора дает возможность уменьшить потребляемую мощь на 25 %. STP-iХА4506С – подходящее решение в вариантах, если необходим большой темп откачки: при имитации космического пространства, травлении в полупроводниковом изготовлении и в изготовлении LCD, нанесении покрытий. Встроенное управляющее устройство и ресурс питания упрощают подсоединение насоса, а малогабаритная конструкция увеличивает практичность монтажа и уменьшает занимаемый участок. Вероятно доукомплектование термо-стабилизирующей системой. В типовых версиях насоса с целью удаленного управления применяются порты RS-2З2С, RS-485, STP-Link, опционально может быть подсоединение согласно интерфейсам Profibus, DeviceNet, LonWorks. Вакуумнасос отвечает стандартам UL, СЕ, SEMI-S2 и директиве RоHS.
Турбомолекулярные насосы Pfeiffer
Более 50 лет назад предприятие Pfeiffer Vacuum придумало первый турбонасос. Турбомолекулярные насосы предполагают самые новейшие решения, направленные на завтрашний день, с целью обширного диапазона применений. Данный диапазон включает не только аналитическое оснащение, разные вакуумные процессы и полупроводниковые технологические процессы, но еще и организации напыления и нанесения покрытий, научно-экспериментальные и опытно-конструкторские работы, а кроме того индустриальное использование. Гамма турбомолекулярных насосов содержит обширный диапазон, со скоростью откачки от 8 вплоть до 2900 л/сек. Турбомолекулярные насосы гарантируют высочайшую экономическую результативность и гибкость. Отлично показавшие себя оригинальные подшипники, гарантируют высочайшую безопасность. В следствие отлично зарекомендовавшему себя конструктивному типу ротора, завоеваны весьма высокие значения скорости откачки, рабочего давления на выхлопе и газовой нагрузки, а кроме того компрессии согласно воздушным газам.
Турбомолекулярные насосы КУКУ
Компания КУКУ Technology Co. ltd. представляется первопроходчиком в области китайской вакуумной техники и электронной оптике. Предприятие придумало первый в Китае турбомолекулярный вакуумнасос, течеискатель и развертывающий электрический микроскоп. В процессе последних 50 лет предприятие КУКУ предоставляет сложные решения в области вакуумного оборудования для партнеров со всей земли.
Турбомолекулярные насосы ТМН
Это безмасляное откачивание вакуумных систем, формирование высокого и сверхвысокого вакуума. Вакуумнасос представляет собою вариант со статором привода, вынесенным с вакуумной зоны, что гарантирует безопасное охлаждение катушек.